二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款先進的蝕刻/灰分工藝工具,非常適合各種晶圓蝕刻/灰分應用。彩虹4520i設備是專為優化工藝參數和性能而設計的。4520 i的高級設計降低了復雜性,消除了昂貴的升級,同時提供了卓越的過程控制和等離子體生成。LAM RESEARCH Rainbow 4520i先進的蝕刻/灰分技術為用戶提供了一種基於等離子體的自動化、高速工藝,用於為半導體應用蝕刻和灰化各種材料。Rainbow 4520i配備了多項功能，在晶圓工藝控制和效率方面發揮了最大作用。其通用過程模塊（UPM）允許快速交換多個過程模塊，而無需從系統中移除晶圓。這允許在一個單元中進行多次蝕刻/灰分處理。LAM RESEARCH Rainbow 4520i還具有強大的診斷工具和分析軟件,使過程監控和優化比以往任何時候都更加容易。4520i有一個大容量的底物載體，非常適合同時處理多種底物。基材載體最多可容納200毫米晶片（可選300毫米晶片）和四個相應的托盤,這些托盤可相對於加工室移動晶片。基板載體還包括單獨的晶片加熱器，實現每個晶片的獨立加熱，有助於提高工藝的均勻性。Rainbow 4520i是一臺先進的高通量機器，能夠快速蝕刻和粉刷用於微電子應用的材料。該工具使用先進的等離子體工藝來生成等離子體流，該等離子體流針對各種不同的應用對材料的蝕刻和灰化進行了優化。該資產的設計采用無載體工藝的通路，並使用噴嘴陣列確保均勻的蝕刻和灰化工藝。LAM RESEARCH Rainbow 4520i還提供PowerPAC軟件套件,該套件旨在提高流程產量、管理時間和提高流程一致性。PowerPAC軟件套件將所有控制、優化、歸檔和基本建模功能編譯為一個易於使用的軟件包。使用PowerPAC,操作員可以輕松監控、優化和簡化多個蝕刻/灰燼過程。最後,Rainbow 4520i是一種先進的蝕刻/灰分工藝工具,非常適合廣泛的晶圓蝕刻和灰分應用。該模型的高級設計降低了復雜性,消除了昂貴的升級,同時提供了卓越的過程控制和等離子體生成。該設備配備了多種功能，為用戶提供基於等離子體的自動化高通量工藝，允許在一個系統中進行多次蝕刻/灰分工藝。