二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262 待售
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ID: 9097262
晶圓大小: 8"
Poly etcher, 8"
Wafer type: flat
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
Auto Pressure Controller (APC): VAT 84020-R1
Baratron 1: MKS 623 10torr
Baratron 2: MKS 622 2torr
Convectron G/Phillips 275
TMP: Vacuum TC 440-C
TMP controller: Vacuum TC 440-C
Robot: -
Robot controller: -
Generator: ENI GHW 26
Match: ENI MWM-25-02
AC rack: yes
RF controller: yes
Chiller: M and W RPC2/28W-
Process: Edwards E2M40 PFPE
Load lock: Edwards EH-250
Booster: Edwards E2M40
MFC:
Gas 1 O2 500sccm
Gas 2 N2 50sccm
Gas 3 CHF3 50sccm
Gas 4 Ar 1sccm
Gas 5 CF4 100sccm
Gas 6 He 50sccm.
LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asher是一種精密的等離子體蝕刻和灰化設備,旨在在苛刻的環境條件下提供卓越和一致的結果。這個先進的系統具有可靠的真空平臺和符合人體工程學的設計,使用戶能夠實現晶圓的準確和高效的處理。該4520XLE提供多種高級功能,如雙模射頻發生器、擴展頻率範圍(450 kHz至2 GHz)和兩室鎖載機構。該單元還具有高度的靈活性,可適應各種應用,如深度蝕刻和輪廓控制。雙腔室鎖載機構確保晶片快速、精確地放置到加工腔內。機器配備了先進的等離子體源,在加工區域上提供統一的蝕刻輪廓。該4520XLE配備了幾個用戶友好的功能和強大的過程控制功能。其直觀的用戶界面提供了對所有處理參數的輕松訪問,而大型彩色觸摸屏顯示確保了對復雜流程的輕松導航和控制。該工具還提供了高級遠程診斷和軟件定制功能,使用戶可以隨時輕松監控和配置處理參數。該4520XLE旨在在高溫、高濕度和高壓等具有挑戰性的環境條件下提供卓越的可靠性和堅固的性能。它的機械設計包括一個隔離資產,以減少振動,以確保精確和一致的結果在各種操作條件。此外,該模型的設計符合各種安全協議,並符合所有相關行業標準。最後,LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLE是一種先進的蝕刻器/asher設備,旨在滿足各種應用的需求。其創新可靠的特點,加上優越的工藝控制和效率,為用戶提供了一個強大的工具,在充滿挑戰的環境條件下取得一致和準確的結果。
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