二手 LAM RESEARCH Rainbow 4526 #9230652 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4526是一款用於半導體晶圓加工的蝕刻和灰度設備。Rainbow 4526系統通過集成了溫度控制的過程室、全面的過程監視和控制以及可靠的晶圓傳輸和處理的單元設計,提供了增強的過程控制和可重復性。LAM RESEARCH Rainbow 4526能夠對工業標準Si、GaAs、InP、Poly-Si、SOI等材料進行多次蝕刻和灰化處理。它具有獨特的「混合」熱壁處理室設計,可降低工藝溫度、提高吞吐量、降低總體壓力和提高晶圓模式的可靠性。2.5英寸晶圓處理能力、無載流子的運輸機器以及同時執行幹濕工藝的能力，使得該工具適合各種半導體制造應用。Rainbow 4526附帶集成的硬件和軟件模塊,可實現高效的過程監控。該資產具有先進的參數映射能力，能夠以高精度和控制的方式蝕刻和粉刷多個層次的圖案。嵌入式過程控制模塊可保證可重復的過程控制,而集成的配方可實現過程的快速開發和遷移。該型號具有廣泛的安全功能,可保護人員和部件。它帶有一個集成的，溫度控制的二次腔室，以盡量減少熱沖擊和最大限度地提高工藝條件的穩定性。為了保護安全,LAM RESEARCH Rainbow 4526還具有完整的前後通道和符合人體工程學的設計,便於維護和維修操作。綜上所述，Rainbow 4526蝕刻器和asher設備是一種用途廣泛、可靠、經濟高效的半導體晶圓制造工具。其集成設計結合了用於過程監控的硬件和軟件模塊、無載波晶圓傳輸系統、溫度控制的過程室以及保護人員和組件的充足安全功能。這使得它成為一個全面的解決方案，以高精度和可重復性蝕刻和灰化多層次的圖樣。