二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款為大批量生產半導體元件而設計的蝕刻器/asher。它是一種全自動的單晶片蝕刻/灰化設備，其平臺能夠處理300毫米晶片，同時具有低壓化學氣相沈積（CVD）和高性能等離子體增強型CVD（PECVD）工藝。Rainbow 4528有一個模塊化的架構，可以讓使用者根據他們的特定需求自訂系統，並包括一個靜電卡盤，可以用來將晶片精確地向下定位在腔室上。蝕刻/asher具有兩個獨立的等離子體源和一個動態壓力控制單元，允許用戶精確調整反應堆腔室壓力和蝕刻速率。它還具有用於後蝕刻、預裝加工的拋光機、用於提高性能的真空熱交換器，以及專有的批控、高精度輸送機工具，每個工藝最多可輸送五個晶片，減少循環時間並增加吞吐量。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4528提供氣流、壓力、溫度、放電等關鍵過程參數的實時監控。其精密的晶圓映射能力為用戶提供了配方有效性的詳細反饋，同時還對透鏡晶圓進行了檢測。Rainbow 4528是一種針對各種半導體產品的高效蝕刻器/灰化器解決方案。