二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836 待售
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ID: 9244836
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款為先進半導體生產而設計的蝕刻器/asher。它是一種具有精確溫度、真空和化學控制能力的自動化設備。該系統具有多級可配置的流程模塊,允許多種流程配方由板載操作單元設置和召回。該腔室由不銹鋼制成，設有玻璃窗，用於監控機器健康和防止汙染。Rainbow 4528具有四區域處理模塊,允許在不同區域執行不同的蝕刻和燒蝕過程。該工藝模塊使用三個外部臂作為額外的工藝氣體，並使用一個旋轉輪在配方和加工室之間快速切換。該工具還配備了獲得專利的離合器和車輪鎖定機構，允許平穩準確的旋轉，即使在大腔室之間也是如此。可以使用內置軟件自主調整工藝參數，並存儲各種工藝配方。資產還包括一個內置的監控模型，允許用戶監控設備的健康狀況、工藝狀態和腔室溫度。LAM RESEARCH Rainbow 4528的堅固結構確保了可靠的性能,即使在惡劣的生產條件下也是如此。該系統非常適合工業吞吐量和擴展產品線。有了活躍的亞微米腔室，Rainbow 4528也能夠處理低至0.5微米的特性。內置安全單元和報警確保操作員安全和產品質量。LAM RESEARCH Rainbow 4528專為高級生產環境而設計,能夠創建針對特定產品量身定制的復雜工藝配方。該機與其他LAM RESEARCH產品廣泛兼容；使其成為半導體生產的最佳選擇。直觀的GUI允許輕松設置,並且該工具具有各種自動化功能,可用於簡單、可重復的流程。
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