二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528i #9167075 待售

LAM RESEARCH 4528i是一種蝕刻器/灰化器，旨在將薄膜精確蝕刻和沈積到晶圓表面上。其精密的薄膜沈積工藝結合可靠的對流蝕刻，確保了可靠的處理結果。該設備提供簡單高效的樣品加載、卸載和處理,非常適合各種高通量應用。LAM 4528i以較低的擁有成本實現卓越的吞吐率和產品質量。它利用靜電卡盤裝卸技術、真空膜沈積室和內置等離子體灰燼。該系統配備了自動晶片定位單元、集成晶片卡盤環境控制機和集成濺射硬件。通過專門的氣體供應和質量流量控制器，可以通過測量壓力來精確控制氧氣和氮氣的濃度。LAM RESEARCH 4528i是為廣泛的材料，包括介電，聚合物和各種金屬使用而建造。刀具具有可調的源、溫度和旋轉速度,這樣可以增加功能範圍。資產還配備了額外的端口，以便將反應性氣體和其他物料源泵入加工室。4528i是創新的晶圓蝕刻器/asher，提供高度的多功能性和精確度，以滿足高通量生產和研究實驗室的需求。該模型還易於使用和維護,確保持續可靠的處理結果。LAM RESEARCH 4528i致力於先進的技術和易於操作,使其成為各種薄膜沈積和蝕刻應用的一個有吸引力的選擇。