二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600 #9313103 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4600是一款高端、高通量的蝕刻器/asher,其模塊化平臺由一個平板和四個腔室組成,可在單一配方模式或多重配方模式下實現動態配置。這種靈活性允許對各種材料進行加工，包括但不限於厚薄膜、金屬、玻璃、電介質和低k材料。彩虹4600的兩個主要過程，蝕刻和更新，是使用各種等離子體源完成的，例如射頻和直流偏置等離子體，以及來自蝕刻室、灰燼器和氣相沈積室等系統。適用於LAM RESEARCH Rainbow 4600的蝕刻操作室模型包括單室、雙室、四室配置。其模塊化平臺還提供手動或自動的可編程性、過程控制和數據記錄功能。Rainbow 4600能夠在各種材料和晶圓尺寸上進行精密蝕刻,具有高均勻性和高選擇性,可重復性為0.5%。這使得曲面的平面化和特定特征的選擇性蝕刻具有最佳的可重復性。LAM RESEARCH Rainbow 4600帶有電容耦合等離子體（CCP）源,可支持自動平整、主動匹配和其他一些高級功能,使其適合納米技術過程和其他需要精確蝕刻的過程,並在高通量下獲得最佳效果。Rainbow 4600還具有堅固且易於使用的用戶界面,可幫助減少由於過程控制不準確而對蝕刻表面產生的「腳跟效應」。該壓板具有旋轉真空蓋、無菌裝卸、沈積後退火等特性。此外，系統還提供了集成配方開發界面，用戶可以利用該界面輕松編程各種蝕刻配方。LAM RESEARCH Rainbow 4600也是為最佳工藝環境而設計的。它帶有惰性吹掃和閉環冷卻系統,可確保卓越的冷卻性能,提高工藝結果的可重復性,並提高成本效益和效率。此外，它堅固的熱管理系統為最高溫度控制、重復性和準確性提供了精確的熱量和冷卻。所有這些功能結合在一起,使Rainbow 4600成為一個理想且可靠的蝕刻器/asher解決方案。