二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9145833 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4600B是半導體工業中為晶圓制造而設計的蝕刻器/asher。它提供了降低的擁有成本、先進的吞吐量和圖像質量,以及可靠的過程開發和控制過程。彩虹4600B采用創新的雙室設計，提供高精度和重復性的卓越工藝控制。LAM RESEARCH Rainbow 4600B配備了兩個最先進的交替電化學處理電池，每個電池最多由四個獨立的電極和驅動器組成。該4600B旨在方便地訪問壓力、溫度、流量和濃度等不同的處理參數。其用戶友好操作通過直觀的流程監控軟件啟用。此軟件還有助於最大限度地減少工藝變化、預熱和冷卻序列以及晶圓沖洗/重新加載時間,從而提高效率。它還提供了可定制警報、警報和配方的功能,以提高生產率。Rainbow 4600B提供了1.0% ±內的出色均勻性,並在整個晶片表面具有出色的蝕刻均勻性。此外,4600B還支持濕蝕刻或幹蝕刻,這對於某些材料可能是必需的。該4600B還能夠調節通過蝕刻的晶片厚度，從而能夠嚴格控制蝕刻後的薄膜和結構。LAM RESEARCH Rainbow 4600B設計具有延長的使用壽命和可靠性。專有的RF-On-Metal™電極系統用於維持低顆粒背景，減少汙染。該4600B采用專門的模塊化結構設計,可方便地訪問流程單元,並避免在維護過程中需要服務呼叫。最後,4600B的占地面積很小,總占地面積不到2平方米,是有限工作區的理想選擇。
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