二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9313104 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4600B是一種用於多晶矽、二氧化矽、氮化矽等各種薄膜材料蝕刻的高性能蝕刻和灰化設備。它利用強大的紫外線激光源,射程高達250瓦,即使是最困難的材料也能提供極高的拆除率。該系統除了具有高達350 mm x 350 mm的大板載腔室容量外，還設計了幾個方便的功能，如集成、高精度的基板材料精確定位階段，以及用於控制蝕刻和灰化過程的先進、用戶友好的軟件包。彩虹4600B即使對於復雜的蝕刻膜，如多晶矽，也能達到優異的去除率，同時保持高精度和均勻的去除特性。此功能強大的蝕刻單元可用於單層和多層工藝應用。它的模塊化體系結構允許輕松擴展,以適應更高的卷,同時保持吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4600B設計用於各種研發和生產環境。它堅固可靠的設計使它能夠長時間運行,而且停機和維護時間最短。其板載腔室易於取用，包括一個手動進紙托盤，用於快速、精確地裝載和對準基板材料。此外，其智能氣體輸送機確保了均勻的蝕刻和灰化效果。簡而言之,Rainbow 4600B是一種高性能、精確且功能豐富的蝕刻和灰化工具,非常適合研發和生產,在多種材料中提供統一的高質量結果。其集成的板載資產和軟件使其既方便用戶又高效,其可擴展性確保其性能能力保持不變,即使面臨更高的容量。