二手 LAM RESEARCH Rainbow 4700 #9364649 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4700是一種先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）蝕刻器/灰化器設備,旨在應對各種底物上的蝕刻層沈積和各向異性蝕刻的挑戰。彩虹4700以其超高性能和低運營成本相結合，是半導體和微電子行業高精度應用的完美系統。LAM RESEARCH Rainbow 4700允許在包括矽、III-V化合物以及碳、金剛石等III-N化合物在內的各種基板上，對薄層和高縱橫比結構進行精確、選擇性和不均勻的蝕刻。通過使用先進的PECVD技術,Rainbow 4700能夠控制蝕刻速率和方向性,從而實現精確的特征模式。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4700具有高的長寬比和保形性，也適用於薄膜塗層的沈積。Rainbow 4700允許沈積具有出色保形性和均勻性的薄膜。此外，該單元提供低寄生電容，因此可以用於高性能互連。機器還能夠快速、精確地設計接觸開口。LAM RESEARCH Rainbow 4700還具有先進的熱管理功能。這樣可以使基板加熱,從而提高工藝的均勻性和可重復性。此外，Rainbow 4700的閉環溫度控制方法提供了非常嚴密的溫度控制，防止了對基板的不必要破壞。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4700是一款先進的蝕刻器/asher工具,能夠提供高蝕刻速率和一致性以及低運營成本。Rainbow 4700具有先進的溫度控制功能,非常適合高精度塗層和圖案設計應用。其最先進的PECVD技術使其成為各種基材上精密、選擇性、不均勻蝕刻的完美資產。