二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293642252 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款蝕刻器/asher,它提供了從較薄的薄膜到納米級設備的快速、可重復和經濟高效的基板處理。Rainbow 4720提供電介質膜、氧化物、金屬、鎢等材料的精密敏感蝕刻和灰化。先進的半導體工藝模塊LAM RESEARCH Rainbow 4720提供多達16個全自動的工藝室,使每個階段都能獨立控制和同時運行。這種模塊化系統擴大了處理範圍，讓用戶可以靈活調整溫度、氣體和循環參數，以滿足特定需求。Rainbow 4720提供多達四個標準井和多達十六個可選的淺工藝井,允許多達十六個晶圓載體獨立處理,提供更大的吞吐量和利用率。該系統還支持手動以及極其清潔的半導體、納米技術和光電應用,因為它采用了先進的清潔技術、拉力和洗滌選項。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4720的機艙能夠在266°C的溫度下運行,並提供各種氣體和反應物控制選項,以滿足用戶的要求。這款蝕刻器/asher具有管理多種具有廣泛水性、有機和高密度等離子體的光刻和蝕刻配方的能力，以及用於超清潔半導體器件和納米級薄膜的高反應性化學。Rainbow 4720還具有先進的腔室設計,具有完全獨立的加熱腔室結構,並可選擇1至8個排氣管,以提高蝕刻和灰度均勻性。除此之外,LAM RESEARCH Rainbow 4720的設計采用閉環、完全耗盡的設計和自動控制系統,可實現最低限度的維護、高可重復性和長期可靠性。綜上所述,Rainbow 4720是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻和灰化工具,非常適合低容量、半導體、納米技術和光電應用。它以高效、清潔和經濟高效的方式對從薄膜到納米級器件的基板進行精確和可重復的處理。
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