二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293758944 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4720是一種蝕刻器/灰化器設備,專為工業環境中的蝕刻、灰化和清潔應用而設計。該系統利用先進技術和經過驗證的測試協議提供可靠和一致的結果。Rainbow 4720的主要部件包括高功率射頻源、超高真空室和標準工具包。高功率射頻源能夠產生從100 kHz到1 GHz的各種頻率。射頻源能夠調制頻率和功率，使用戶能夠控制各種基板的蝕刻過程。腔室由不銹鋼構成，形成八角形。它配備了可調節的載荷鎖定臺和定制設計的腔窗。腔室設計為保持低基壓（小於1 mTORR），有助於確保高效蝕刻。工具包包括一個樣本操作臂、一個可編程加熱/冷卻板、一個樣本旋轉單元和一個遠程泵降控制箱。樣品操縱臂用於準確地將基板進出腔室，而加熱/冷卻板則用於確保溫度均勻性。樣品旋轉機的設計是為了確保底物最適當地暴露於射頻源。LAM RESEARCH Rainbow 4720還利用自適應控制，允許用戶調整蝕刻工藝參數，一致產生高蝕刻選擇性、特征定義和工藝均勻性。它還配備了一系列的等離子診斷，允許用戶實時監控蝕刻過程。總體而言,Rainbow 4720是在工業環境中進行蝕刻、灰化和清潔應用的理想工具。它為用戶提供了廣泛的蝕刻功能和高度可靠和一致的蝕刻過程。此外，它能夠蝕刻各種基材，以及監測和控制蝕刻過程。