二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293817739 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款為大批量生產而設計的蝕刻器/asher。這種設備設計用於各種不同的工藝化學，能夠達到30.2毫米/分鐘的最大蝕刻速率。泵的最大轉速為20000 rpm。Raindow 4720配備了單級高真空渦輪泵送系統，使機組在總壓力<5 mTorr的情況下運行，泵速高達8500 rpm。Rainbow 4720利用先進的蝕刻控制器,可精確控制蝕刻參數,如氣體需求、蝕刻壓力、腔室溫度和功率級別。控制器還允許操作員啟用具有精確可重復性的可重復蝕刻運行。控制器還能夠監控工藝室溫度變化等工藝參數。LAM RESEARCH Rainbow 4720晶圓加工站包括一個真空裝載室，能夠容納多達四個盒式，最多20個晶圓。然後將晶片轉移到蝕刻室，該蝕刻室可容納多達216個晶片。Rainbow 4720機器具有全方位的晶片保護功能,有助於確保一致的蝕刻質量。這些功能包括可調節的氣流、功率水平和溫度設置。此外，該工具還包括一個原位清潔室，可用於清除進程運行之間的殘留汙染物。LAM RESEARCH Rainbow 4720是一種用途廣泛的資產,能夠執行各種具有精確可重復性和控制性的蝕刻過程。它具有先進的蝕刻控制器和較高的吞吐量能力，是大批量生產應用的絕佳選擇。該模型可靠、經濟高效，能夠生產出精密工藝控制的高質量蝕刻。