二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9384076 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款針對高級工藝需求而設計的蝕刻器/asher。它具有超低的kV加速電壓,使其能夠實現高長寬比的蝕刻,並提供更均勻的材料層。這是通過高通量、短脈沖處理和像差校正來實現的。Rainbow 4720 an 蝕刻器/asher使用先進的蝕刻/灰化技術,在深而窄的溝槽中實現垂直壁和寬的停止蝕刻壁。它提供了快速的流程周期和更高的底部蝕刻速率,同時減少了提升件的數量。可裝載LAM RESEARCH Rainbow 4720 HEI(高效油墨)。HEI設計用於蝕刻制造工藝,具有均勻、光滑的非晶矽和氫化矽層導電表面。Rainbow 4720有一個多模源腔,提供了蝕刻能力和同時的能力。這有助於節省成本和時間,因為機器可以同時執行兩個過程。Raspberry Pi控制器可確保在整個腔室中進行快速、準確的處理,並且源模塊完全集成到控制器中,從而獲得最大的靈活性。LAM RESEARCH Rainbow 4720還附有LAM RESEARCH標準堵塞物,旨在提供均勻的物料層,持續的高蝕刻速率。Rainbow 4720有多種選項可自訂蝕刻/ashing過程。它可以配備Dual Process復古模式、DC偏置模塊、Green Ribbon Connector和Pattern Memory Mode。這些選項可確保蝕刻/灰化過程是根據客戶的需要定制的。LAM RESEARCH Rainbow 4720具有卓越的長期服務和性能能力,專為可重復、高性能的蝕刻和灰化過程而設計。它擁有全面的維護包,並配備獨特的監控和診斷功能,以確保最大限度的過程控制和效率。這些功能使Rainbow 4720成為在研究和生產應用中具有工業級性能的蝕刻/灰化的理想選擇。
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