二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9402505 待售

ID: 9402505
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款高能力、高通量的蝕刻器/asher設備,用於先進的半導體行業。Asher系統利用幾種不同的技術,產生高蝕刻、圖樣化和多層結構,用於微電子、光學和光子學等電子設備。具體來說,Rainbow 4720可以利用化學濕蝕刻工藝、幹蝕刻工藝和物理沈積工藝來產生這些結果。化學濕蝕刻工藝LAM RESEARCH Rainbow 4720 蝕刻器/asher支撐物包括濕等離子體蝕刻(WPE)、熱磷酸蝕刻(HPAE)、浸沒氧化劑(IO)、電解氧化。這些工藝用於蝕刻有機和無機材料以及金屬和合金,以產生比機械工藝更小的幾何形狀和改進的表面質量的圖樣或孔。Rainbow 4720單元可以利用的幹蝕刻工藝有濺射蝕刻(SE)、毛細管蝕刻(CE)和低溫蝕刻(CE)。這是一個經過驗證的過程,用於產生高度蝕刻和類似金剛石的碳表面和結構,以達到高精度、可重復性和微調能力。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4720還能夠利用物理沈積過程,如化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)和離子束沈積(IBD)。這些過程涉及膜的沈積,如電介質、導電膜和半導電膜,保護和密封正在蝕刻的底物的方法等等。使Rainbow 4720 蝕刻器/asher與眾不同的一個方面是,它能夠利用上述許多蝕刻和沈積技術,在非常緊密的幾何形狀中實現和復制高度復雜的多層結構,並具有極其精確的圖案。這是通過機器的多步驟功能和高級圖像處理工具來實現的,這些工具允許優化的可調處理能力,以根據特定的作業請求定制蝕刻和沈積參數。最後,LAM RESEARCH Rainbow 4720是一種高度先進的蝕刻器/asher工具,能夠快速高效地蝕刻和沈積各種材料,從而產生具有無與倫比的幾何形狀的高度復雜的多層結構。其先進的圖像處理能力和多步處理能力使其成為新興半導體行業的理想選擇。
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