二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9145828 待售

ID: 9145828
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是公司「Corporate Series」下包含的一系列蝕刻/asher工具。這些工具通過一系列過程控制、等離子體源和真空解決方案,為不同的工業蝕刻和灰化應用(如薄膜沈積和器件結構化)提供經濟高效且可靠的解決方案。Rainbow 4000系列蝕刻器/灰燼具有公司專有的蝕刻技術,提供全方位的蝕刻功能-從低溫工藝到氮化物、氧化物、氧化物、多晶矽和其他材料的高速度蝕刻。這種強大的蝕刻技術可確保精確、均勻和可重復的蝕刻,而不受工藝時間或樣品加載的影響,從而確保高效和高效的工藝。Rainbow 4XXX系列還提供了許多其他高級蝕刻解決方案,例如高電流、高能量等離子源解決方案(PSS),它提供卓越的離子控制和能量調制功能,以實現最高的可靠性和精確度。這個功能強大的蝕刻工具還包括MESR指示器,它提供實時反饋和對間隙距離和飛行時間數據的控制。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列還具有先進的真空控制系統,允許用戶精確控制真空室的壓力控制和清潔度,以及通風調節工藝氣體條件。這種可靠和創新的控制方法和技術的結合確保了精確和準確的蝕刻過程。Rainbow 4XXX系列蝕刻器/asher專門為用戶提供可靠、經濟高效且可靠的解決方案,以滿足大多數工業蝕刻需求。這種用途廣泛的工具提供了準確、可靠和靈活性,以滿足各種蝕刻應用程序需求,使其成為滿足任何蝕刻或灰化需求的完美解決方案。
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