二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176780 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一款為滿足先進設備工藝技術的嚴格要求而設計的蝕刻器/asher。該系列搭載了基於LAM行之有效的專利技術的先進射頻處理，並因其高耐用性和性能提供了一個高度可靠、經濟高效的生產平臺。Rainbow 4XXX系列包括一系列與半導體制造中最新蝕刻和灰化設備技術兼容的產品。所有型號均具有具有可變脈沖電流發生器的中央處理器（CPU）、多腔自動化以及一系列清潔和預處理功能。特別值得一提的是4563型，它采用了一種超薄氣體電池壁設計，在加工過程中保持低於1.0毫巴的氣體壓力，同時支持低於1.5 mb的氙氣壓力變化。此外，由於其先進的射頻系統，用戶可以期待高精度的先進過程控制，以確保準確的過程優化。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列旨在提供清潔、快速和大量摻雜的工藝,使傳統設備的生產效率提高一倍。該系列為用戶提供了靈活性,因為它支持高級流程的標準和自定義配方設置。它還支持快速爬升、短流程周期、小清理周期以及可跟蹤的流程參數,使其成為單一設置,從而確保改進的可重復性。此外,本系列還采用了可靠的安全功能,可監控過程參數並檢測任何異常。此外,Rainbow 4XXX系列還具有可擴展性,允許雙腔室操作、高級工藝優化（APO）和氣體/反應物混合物控制,從而使用戶能夠簡化生產線並提高生產率。此外,LAM的客戶支持和專門的服務工程師可提供及時的支持和故障排除,以確保最長的正常運行時間和令人滿意的結果。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一個功能強大的工具,適用於需要可靠、快速的流程、流程優化功能和高級安全功能的制造商,這些功能都包含在一個緊湊的系統中。該系列使用戶能夠自定義批處理運行、提供可靠可靠的支持,並提高靈活性以確保滿足其處理需求。