二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176782 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一種等離子體蝕刻器/灰燼設備。該系統旨在蝕刻各種材料，包括半導體、金屬、絕緣體和其他堅韌材料。彩虹4XXX系列利用多種技術實現了所需的蝕刻型材，包括等離子體蝕刻、離子銑削、反應性離子蝕刻和反應性離子銑削。它提供了對蝕刻參數的高度控制,包括能級、掃描速度、模式重復率和選擇性。該單元的主要部件是目標表面、輸入電源、射頻電源、等離子體源和排氣室。目標表面是要蝕刻的表面，通常是半導體或金屬表面。輸入電源控制電流流向射頻電源。射頻電源產生產生等離子體所需的射頻場。等離子體源是用來蝕刻目標表面的通電粒子的來源。最後，用排氣室安全地從蝕刻機中排出顆粒。等離子體蝕刻過程基於使用通電粒子對目標表面的電離轟擊。射頻電源在目標表面上產生電場。這個電場將粒子加速到高速，粒子撞擊目標表面，打破原子和分子之間的鍵。此過程用於從目標曲面中移除單層或多層材料。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列提供多種蝕刻技術，包括深反應性離子蝕刻、高密度等離子體蝕刻和離子銑削。深層反應離子蝕刻（DRIE）用於在優化選擇性的同時蝕刻多層材料。這種技術涉及一系列蝕刻循環，其中離子以增加的能級撞擊目標表面。高密度等離子體蝕刻（HDPC）是一種等離子體蝕刻形式，用於蝕刻非常薄的材料層。離子銑削是一種用於創建精確特征的低能蝕刻技術。與其他蝕刻系統相比,Rainbow 4XXX系列具有許多優點,包括蝕刻速率高、蝕刻化學消耗低、操作成本低以及停機時間短。此外,它的小巧尺寸和易用性使其成為半導體工業的理想選擇。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列為用戶提供了精確蝕刻各種材料的可靠工具，使其成為各種制造工藝的理想選擇。