二手 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9173006 待售
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ID: 9173006
Lot of spare parts:
Qty Part number Description
(2) - MFC H2O Vapor 1 slm with Controller
(2) 853-491530-002 ESC Power supply assembly (810-017086-008 & 810-370182-001)
(2) 853-015763-001A Assy limit switch
(1) - MFC Ar 100 sccm
(1) - MFC O2 200 sccm
(15) 810-017031-004C ADIO Board rev C
(1) 810-017050-002C ADIO8 Board
(1) 853-032190-306E TCP Assy upper match, fixed gap
(1) 853-015130-204C Assy RF Match EXT range
(1) 515-025756-001 Paddle calibration tool
(1) 515-012168-00X Arm calibration disc
(1) 515-012169-001 Wafer centering tool
(1) 795-008885-001 Optical sight
(2) 515-009821-001 Lock pins
(1) 715-010213-003 Edge sensor calibration tool
(3) 515-097217-001 Nonmetalic driver
(3) 515-099329-001 Retaining ring pliers.
LAM RESEARCH Rainbow 9600是一款蝕刻器/asher,為高級蝕刻和加工提供更高的生產率和過程控制。該設備能夠以緊湊的外形提供先進的蝕刻工藝。它旨在提供更好的流程通用性、更高的吞吐量和更好的整體流程控制。Rainbow 9600 蝕刻器/asher具有緊湊的單晶片設計,具有出色的工藝靈活性和生產率。它利用業界領先的直接驅動的轉塔卡盤和主軸快速晶圓對準和提高吞吐量。該系統具有兩室配置，可實現最佳的鎖載和蝕刻室配置。該裝置還采用專利處理技術，以加強工藝控制。它包括一個可以在最多六個蝕刻參數上蝕刻的電鍍工藝。LAM RESEARCH Rainbow 9600還具有動態晶圓計量能力，允許在蝕刻時改進晶圓分析。該機還具有高速加載，以實現更快的處理和更高的吞吐量。Rainbow 9600 etcher/asher還提供了用於蝕刻和工藝控制的高級軟件。它包括一個全面的用戶界面和強大的數據分析工具。軟件還具有一系列交互式控制功能,允許用戶自定義其蝕刻和處理參數,以提高工藝可靠性。LAM RESEARCH Rainbow 9600 蝕刻器/asher還提供增強的安全性和數據保護。它配備了提供高級加密和驗證協議的集成安全工具。它還配備了本地打印管理資產和安全的外部內存連接器,以便於設置和數據管理。Rainbow 9600 蝕刻器/asher提供了廣泛的高級支持選項,包括全面的技術支持。該型號還配備了全面的保修範圍和維護包,可讓您更省心。最後，LAM RESEARCH Rainbow 9600 蝕刻器/asher是一種先進的蝕刻和加工設備，旨在增強工藝控制和吞吐量。它體積小巧,用途廣泛,提供了一系列過程參數和安全功能,可提高可靠性。集成的軟件和支持包使其成為高級蝕刻和處理應用程序的絕佳選擇。
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