二手 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9389854 待售

LAM RESEARCH Rainbow 9600是一款利用強大的高頻射頻（Radio Frequency）等離子體源的蝕刻器/asher。彩虹9600具有高達200瓦的等離子體源功率和50立方英尺的工作量，可以處理高達400毫米x 300毫米的基板。其獨特的設計允許執行各種各樣的過程幾何,例如在單個配方中在同一基板上進行蝕刻和清潔,而不會影響過程的可重復性或基板吞吐量。這種先進的蝕刻器/asher具有集成的批處理特性，可自動制備基材和形成等離子體，用於可重復的過程和較高的基材產量。LAM RESEARCH Rainbow 9600有一個可在各種溫度和大氣條件下儲存基板的鎖載設備，確保在整個批處理過程中保持工藝條件。此外,系統的絕對壓力控制功能最大程度地減少了過程波動,從而顯著降低了最終產品產量和質量問題的風險。該單元還具有一個專有的射頻發生器，確保穩定和一致的蝕刻和清洗性能。等離子體內的聚焦離子附著在基質表面，而等離子體均勻且具有氣體流速等可編程參數高度可調。Rainbow 9600 蝕刻器/asher的構造考慮到安全和環境保護。它有一個單法蘭排氣機，能夠有效地從操作室內輸送有毒氣體，並減少危險排放。此外，該工具有七種標準氣體可供選擇，均符合國家森林行動計劃認證和環境法規。總體而言，LAM RESEARCH Rainbow 9600 蝕刻器/asher由於其高頻射頻等離子體源和綜合工藝參數調整，提供了卓越的基板性能和吞吐量。其安全環保特點使其成為生產優質基材的理想可靠工具。