二手 LAM RESEARCH Rainbow #9118482 待售

LAM RESEARCH Rainbow是一款為半導體制造中的蝕刻/灰化過程而設計的蝕刻/灰分設備。它能夠在各種化學方法中操作，如幹蝕刻和濕蝕刻及其組合，並配有一整套專門為蝕刻/灰化非常薄的特征層而設計的工藝配方。其特點包括低溫處理以確保低熱誘導應力、去除速率均勻性和遮罩形狀精度，以及先進的安全特性。該系統可以精確蝕刻/灰層的矽（Si）、碳化矽（SiC）、氙（Ge）等用於制造MEMS、NEMS、VLSI器件的半導體材料。該單元由精密蝕刻/灰化的各種部件組成，包括一個工藝室、高真空泵送系統、冷卻劑機、工藝控制工具和一個可選的蒸氣相蝕刻等離子體源。加工室是一個密封的外殼，帶有基板支架，允許樣品暴露在受控環境中。根據工藝要求和腔室大小，它可以包含多種電極，用於將離子噴灑到晶圓上。高真空泵設計用於保持工藝室內的低壓環境。冷卻劑資產用於降低工藝室在蝕刻/灰化過程中的溫度，確保產生的任何熱量都能散發出來。流程控制模型允許自動控制蝕刻/ashing流程參數以及所有流程信息的數據日誌記錄。彩虹蝕刻/灰燼設備可用於去除矽、碳化矽、的層，以及其他由於低溫處理能力而具有極低熱誘導應力的半導體材料。該系統具有高度精確的蝕刻/灰化功能,允許均勻去除具有高掩模形狀精度的層。憑借其全面的食譜套件，操作員可以根據自己的特定應用需求輕松定制流程。此外，反應堆具有高度的安全性，並設有安全聯鎖裝置，以防止發生任何危險作業。該設備適用於實驗室和生產環境。