二手 LAM RESEARCH RB 4528 #9115317 待售

LAM RESEARCH RB 4528是一種幹式蝕刻器/asher設備，用於以極高的精度蝕刻和清潔各種基板。該系統兼具下遊等離子體加工和幹蝕刻能力，具有優秀的量產背景。它旨在通過獲得專利的氣體回流技術提供高長寬比，為低溫氧化物提供高選擇性。RB 4528由具有先進擋板設計的堅固腔室組件組成，以優化等離子體暴露。它具有低電感設計和自動腔室輪廓測量單元，從而允許一致的可重復蝕刻過程。該機器具有較快的啟動時間和較低的源共振,有助於消除電弧並支持較快的傾斜時間,以減少高溫剖面造成的扭曲。蝕刻器/asher配備了一個創新的雙動單室，簡化了傳統的蝕刻工藝。腔室設計還具有具有節能IGBT技術的射頻電源和高精度端點檢測，以確保穩定、可重復的蝕刻過程。蝕刻器/asher工具具有高效的熱管理資產,可用於幹蝕刻過程,並具有對多個工作站的晶片進行脫膠的能力。內置過程監視器具有快速反應時間，以確保準確的結果，並具有先進的安全模型，允許用戶遠程監控過程。LAM RESEARCH RB 4528 蝕刻器/asher設備配備了可選的機器人處理能力，減少了加載時間，而是自動進行連續處理，使其適合大容量需求。此外，它具有廣泛的氣體和消耗品，支持廣泛的應用。RB 4528 蝕刻器/asher系統以其頂級的可靠設計、可靠的性能和高精度的功能徹底改變了業界。該裝置在蝕刻精度方面確實是無與倫比的，因此已成為小規模和批量生產的行業標準工具。