二手 LAM RESEARCH SEZ 223 #293658185 待售

LAM RESEARCH SEZ 223是一種用途廣泛、創新的晶圓蝕刻器或半導體應用中用於蝕刻晶圓和其他基板的「asher」。它采用模塊化設計,允許安裝其他模塊以實現更高的性能或吞吐量。其最新版本包括升級,使基板加工率達到每小時50個晶圓。而且，它的快速周期時間減少了完成每個周期所需的時間。SEZ 223具有雙通彩色觸摸屏界面（DPCIT）,易於監控。DPCIT包括直觀控件、歷史記錄功能以及在單個操作中設置多個配方的功能。其激光驅動的噴射設備允許晶片更快地被基底到系統上，提供更高的吞吐量和均勻的蝕刻性能。LAM RESEARCH SEZ 223提供卓越的控制和選擇性，對整個蝕刻過程進行精確控制。其可調盤片具有兩個不同的可調目標和支撐板，具有不同的蝕刻圖樣和蝕刻速率，以便以不同的蝕刻速率獲得多個蝕刻深度。該單元可以編程為執行重新蝕刻操作,在該操作中,晶圓的一部分可以重新蝕刻以產生更精確的蝕刻模式。SEZ 223具有先進的安全功能,並配備了Kapton加熱器,可防止晶圓過度蝕刻,並防止燒傷或損壞。其專利清洗機盡量減少磷酸蒸氣排放，降低空氣傳播排放的風險。該工具還具有多個過程報警器和一個結束循環氧氣濃度監測儀，以確保安全性和準確性。綜上所述，LAM RESEARCH SEZ 223是一項可靠的高速蝕刻資產，旨在確保精確蝕刻、安全和吞吐量。其直觀的控件和高級功能使其成為各種晶圓蝕刻應用的理想解決方案。