二手 LAM RESEARCH SEZ 323 #293658166 待售

LAM RESEARCH SEZ 323是一種高度精確的蝕刻/灰分工藝設備,旨在滿足關鍵光掩模蝕刻和灰分應用的嚴格要求。該系統配備了四車道、車輪跟蹤機器人、氣動噴嘴、多軸蝕刻/灰頭等先進功能。該單元非常適合在薄膜厚度最小為0.5微米的情況下對細膩的光掩模進行蝕刻/粉刷。機器還配備了多種安全功能，以確保蝕刻/灰燼工藝免受化學或機械事故的影響。內置的安全裝置包括氣體檢測工具、真空過程安全閥和蓋子安全開關。此外,資產的控制模型包括內置的鎖定/標記輸出設備和緊急停止按鈕。該系統具有高達每小時30個光掩碼的高吞吐量。多軸蝕刻/灰頭能夠一次處理四個光掩模,提供高效且經濟高效的生產解決方案。先進的機器人有一個四車道的車輪跟蹤單元，允許均勻分布蝕刻/灰燼過程。此外，該機還利用氣動噴嘴來降低人工接觸造成昂貴損壞的風險。該工具易於集成到任何現有的生產工作流程中,並配備了易於操作和診斷的用戶友好軟件。該軟件提供了一系列自定義選項,允許用戶根據自己的特定要求調整其設置。此外,資產還包括各種蝕刻/灰燼工藝附件,如過濾器、噴嘴和反射器。SEZ 323是一款高度可靠且先進的蝕刻/灰燼型號,提供卓越的性能和無與倫比的質量。該設備是光掩碼蝕刻/灰化應用的理想選擇，要求精度和可靠性。該系統具有多種安全功能和先進功能，為高精度應用提供了有效的解決方案。