二手 LAM RESEARCH STRIP45 #9244860 待售

LAM RESEARCH STRIP45是一種高性能、模塊化的蝕刻工具，用於臨界蝕刻和清潔過程，包括超淺結的形成、防腐和介電去除。它特別適合於半導體工業中銅通過和大馬士革的應用。它具有多種功能,使其成為功能強大但用途廣泛的蝕刻設備,包括先進的射頻電源系統、超大型石英室、一件式工藝加載、多級拓撲控制以及多個獨立的工藝模塊。這些功能結合在一起,使用戶在產生最優質蝕刻結果時體驗更輕松、更高效。STRIP45蝕刻裝置配備了多種特性和配件，以獲得最佳性能。它使用專有的射頻動力機器，在更大的區域上更均勻地分配能量，並允許增加蝕刻均勻性。它還包含一個超大的石英腔室，它最大限度地減少了基板和負載鎖之間的熱傳遞，並減少了顆粒汙染。為便於加載，該工具采用單件工藝加載功能，最多可處理2000個晶圓。多級拓撲控制允許在工具內精確蝕刻和移動晶圓,同時保持均勻性和降低缺陷級別。此外，多個獨立的處理模塊可用於不同的蝕刻和清潔應用。為確保最大精度和可靠性，LAM RESEARCH STRIP45蝕刻資產配備了多種先進的控制和監控系統。其中包括E室壓力監視器、動態模型掃描儀和自動晶圓定向檢查器。這些特性使用戶可以精確監控和調整自己的蝕刻過程，調整溫度、時間、蝕刻化學和功率等變量，以確保達到最佳效果。此外,該設備還集成了LAM RESEARCH ETCHVISION™控制器和軟件.這為用戶提供了對其蝕刻過程的實時監控,並提供了強大的數據分析和報告功能。總體而言，STRIP45是一個先進的蝕刻系統，能夠以最少的努力和精力投入取得優異的成果。通過利用其高度的射頻功率和控制，這個單元為用戶提供了他們的結果將是可靠和可重復的保證。通過利用先進的控制技術和報告能力，操作員將能夠優化其蝕刻過程，以最大限度地提高產量並減少周期