二手 LAM RESEARCH STRIP45 #9284283 待售

LAM RESEARCH STRIP45是一種設計用於各種半導體工藝的快速可靠的蝕刻器/asher。它是一個單一的平臺系統，具有先進的模塊化技術，可以對精細的設備結構進行極其精確的處理。STRIP45具有多種功能,可實現廣泛的應用,例如材料蝕刻、表面清潔、SiO2側壁蝕刻以及通過金屬蝕刻工藝。LAM RESEARCH STRIP45配備了最先進的硬件,以提高工作效率和靈活性。它擁有4英寸i-line/DUV、DUV熱板、200毫米a-line/DUV和Uni-crogrammable 50腔室。每個腔室都可以定制各種氣流、壓力、溫度和流量配置。此外，還具有低溫、低真空、固態蝕刻能力。STRIP45還附帶了提供可定制的流程配方、數據日誌記錄和警報監控組件的軟件。這允許用戶為特定的蝕刻或灰化過程開發分步序列。每一步都可以包括氣流、壓力、溫度和流量規格，用於精確處理。基於配方的工藝開發也使得運行試用、優化和生產運行變得容易。LAM RESEARCH STRIP45以8500瓦的聲波功率和強大的低溫、低真空等離子體源提供卓越的清潔性能。它可以去除輕質有機化合物，同時保持室內0.39 Torr的穩定壓力和10至140 °C的溫度。STRIP45還具有極好的安全功能,可保護人員和材料免受意外暴露於有害氣體的影響,其設計目的是在清潔環境中以最小的噪音運行。這種易於使用、維護程度低的蝕刻器/Asher非常適合許多半導體應用,並通過快速循環時間和提高的刀具效率來節省成本。