二手 LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056 待售

LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE是一種專門為大批量生產精密基板而設計的蝕刻/粉碎器設備。該系統采用雙級聯、三級（TC3）沈積裝置，能夠快速準確地制備基板。TC3機提供各種材料的均勻沈積，如氮化物、二氧化矽、氮化鈦、氮化鋁。該工具配有一個19「寬乘27」深的主室，所有沈積操作都在室內進行。控制該層蝕刻速率和均勻性的冷卻器機櫃包含在資產中,最多可容納12個盒式磁帶位置。卡帶位置可以通過滾筒選擇器進行選擇，通過控制過程中使用的氣體的流量和體積以及過程的持續時間，可以調整以提供特定的蝕刻速率。位置排列成八角形，以最大化塗層的均勻性。該模型還配備了一個集成的、由計算機控制的運行結束清潔設備，使用氫氟酸和臭氧，確保底物出來清潔和不汙染。該系統用途廣泛，可用於沈積多種材料，包括氧化矽、氮化矽、氮化鋁和鈦合金、氧化氮化矽、鎢和氮化全新及其他耐火材料。LAM TCP 9400 DSIE可以配置自動進紙器,以精確控制厚度、蝕刻速率和均勻性。該單元還包括一個粒子監控器，用於監測材料的沈積速率，以及偏轉組件，這有助於保持基板的機械精度。用戶友好的菜單驅動軟件也包括在內，為機器提供了方便的設置、操作和維護。該工具在批量制造中效率極高，經濟性強，能夠生產出可用於許多不同技術的基板，如光電子學、微電子學、生物醫學、汽車等。LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE具有多種功能,是高批量生產中需要高質量蝕刻和灰燼的用戶的理想解決方案。