二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9158145 待售
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已售出
ID: 9158145
晶圓大小: 6"
Etcher, 6"
Chamber assembly: x2 LL, Proc chamber
Monitor type: LCD
Signal tower: (3) Colors
Pres control: Automatic
Chuck type: Mechanical
RF Generator: RFG 1250
Turbo: EDWARDS A2203C
Gasbox channel: (8) Channels
Series 65 pendulum valve
(2) Gas rings with ceramic insert
Quick clean chamber liners
Dynamic offset ESC power supply and minimatch upgrade
Quick clean endpoint windows
EPROM upgrade for the VAT valve (no preset requirements)
EPROM upgrade for the TCP digital match controller (ISI controller)
Quartz edge ring (greater MTBC)
Currently de-installed.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II是一款功能強大的蝕刻器/asher,專為高級和老牌用戶而設計。此設備提供卓越的精確度和速度,具有多種高級特性和功能。高性能射頻發生器提供快速、可重復的蝕刻。一個易於使用的觸摸屏控制面板允許用戶以最小的努力編程和監控他們的蝕刻參數。系統中內置的高級算法允許跨多個基板實現前所未有的可重復性,從而確保任何材料上的蝕刻輪廓一致。除了單獨運行詳細的數據日誌記錄外,設備還可以記錄最後10次運行,從而確保過程的一致性,並提供有關蝕刻過程的寶貴見解。該機器還擁有一個特別設計的安全室，該安全室設計為含有高度危險的蝕刻氣體，保護使用者和環境不受暴露。同樣令人印象深刻的是其強大的精密計量能力，允許用戶分析和監控蝕刻結果，以保證準確性和可重復性。TCP 9400 SE II是一個功能強大的蝕刻器/asher解決方案,旨在以精確和快速的速度處理甚至最苛刻的蝕刻應用程序。其直觀的軟件平臺、先進的安全功能和可靠的計量功能使其成為既有老牌用戶也有抱負的用戶的理想解決方案。無論是蝕刻單個基板還是高度復雜的結構，這種高性能的工具都被設計成每次都能提供一致可靠的蝕刻。
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