二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901 待售
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ID: 9212901
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Temperature: 22 +/ -2°C
Humidity: <50 %
Vibration sensitivity: Slight
Carrier by water: 9400
Carrier by exhaust: 8400
RF Generator: 5000
Dispersed to environment: 20.000
RF Generator: 3000
Total output: 38.000
RF Generator: 8000
(5) Conditions
Type: Wye
Receptacle required: Hardwired
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 80/63 A.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II是專門為廣泛的矽和復合半導體應用而設計的基準等離子體蝕刻器。該設備為制造微電子器件,如微感應器、MEMS和光電元件提供了一種通用、高性能的蝕刻解決方案。它擁有一個17英寸的彩色液晶觸摸屏大界面,允許用戶通過幾次刷卡和水龍頭輕松控制所有功能。系統還有一個非常寬的蝕刻窗口(最大12 x 12英寸),允許在一次運行中處理多個晶圓和模具級別。TCP 9400 SE II自帶內置電源和熱板,在減少粒子產生的同時,允許出色的蝕刻均勻性。它還具有板載惰性群集軟件,能夠精確控制各種蝕刻化學的蝕刻時間和溫度比,包括CF4、SF6、HCl、Cl2和HBr。此外,該單元還具有兩個獨立的負載鎖,可實現高吞吐量系統。此外,該機器還支持單步或多步蝕刻過程,從而實現更精確的設備制造過程。LAM RESEARCH TCP 9400 SE II的安全特性被設計為確保安全的操作環境,包括暴露防護裝置、惰性氣體安全閥和排氣洗滌器。該工具還具有緊急停止和按鍵開關,以幫助維護安全。在維護方面,TCP 9400 SE II的需求很小,因為該資產配備了內置的自我診斷模型,可以定期檢查設備的安全性和性能。所有這些功能都有助於LAM RESEARCH TCP 9400 SE II作為可靠且經濟高效的高精度蝕刻系統的聲譽。強大的單元設計與集成的軟硬件功能相結合,使TCP 9400 SE II成為安全、精確地蝕刻多種材料的理想平臺。
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