二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9364646 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II 蝕刻器/asher是一種通用的濕法加工工具,專為半導體制造中基於等離子體的快速、精確蝕刻、灰化及相關工藝而設計。它利用先進的線性自動化運動系統來實現最大的吞吐量和精度。9400 SE II為基於等離子體的蝕刻和灰化提供了高性能、低成本的解決方案。9400 SE II適用於半導體器件的前端和後端制造。它具有8英寸多區域基板支撐級，4位靜電卡盤，表面安裝濺射膜沈積頭，在整個工藝表面提供一致的等離子體響應和均勻蝕刻。9400 SE II能夠在200毫米晶圓尺寸內以亞微米精度蝕刻高達50 um的金屬。該階段預配置了多種工藝配方，包括氣體/流量控制、多區基板溫度控制、模式識別/識別算法以及虛擬晶圓映射。此外,9400 SE II還具有先進的數字自動對焦和自動掃描控制軟件,可實現更高效、更精確的蝕刻過程。9400 SE II利用高效的氣體輸送系統,在工藝表面上分配冷的幹氣,以最大限度地提高蝕刻精度、印版均勻性和設備壽命。它提供精確、快速的蝕刻工藝,並具有最小的濺射損耗.它還能夠提供低排放（LE）等離子體，以確保最佳蝕刻性能和盡量減少殘留材料汙染。LAM RESEARCH 9400 SE II是一款可靠可靠的蝕刻器/灰化器,為蝕刻和灰化應用提供安全可靠的環境。它的模塊化設計和遠程監控功能使其成為任何應用程序的理想解決方案。9400 SE II憑借其高處理吞吐量、低成本操作以及卓越的蝕刻/灰化性能,是眾多領先半導體制造商的首選蝕刻/灰化器。