二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II蝕刻設備（又稱asher）是一種用於制造半導體器件的高性能、高精度蝕刻系統。TCP 9400 SE II采用專利技術,利用先進的材料和工藝生產出具有卓越統一性、產量、速度和可靠性的產品。該單元采用群集工具設計,以最大限度地提高吞吐量、降低擁有成本,並能夠將多個流程模塊集成到單個平臺中。這些模塊包括一個預蝕刻剝離裝置、一個熱氧化熱處理室、一個用於高質量有機膜沈積的光有機氣相沈積室、一個帶有催化劑沈積的等離子體蝕刻站以及一個在蝕刻前檢查底物的高端機器。該工具的集成體系結構和用戶友好操作使用戶能夠快速進入生產階段。該工具經過專門設計，可產生最小缺陷和最佳均勻性的高質量蝕刻結果。其獲得專利的SmartEtchTM軟件解決方案能夠對所有類型的材料（包括厚薄膜材料和薄膜材料）進行精確蝕刻,並最大程度地提高產量和可重復性。LAM RESEARCH TCP 9400 SE II的熱處理室特別適合蝕刻小芯片、細膩的光學塗層、金屬或透明電介質。利用光有機氣相沈積（POVD）室，實現了高質量的有機膜沈積，即使在大面積上也能達到最大的均勻性。該工具的創新等離子體蝕刻站能夠優化蝕刻和催化劑沈積，既可用於完全加工晶片，也可用於工藝流程實驗。此外，還可以整合海關會議廳。TCP 9400 SE II還具有高端robocamera資產,它為在蝕刻前識別和校正基板缺陷提供了卓越的檢查能力。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400 SE II蝕刻型號非常適合尋求提供最大產量、均勻性和速度的高級蝕刻設備的用戶。憑借其先進的材料、工藝技術和集成的體系結構,此工具能夠提供卓越的效果,同時最大限度地減少停機時間並提高盈利能力。