二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758949 待售

LAM TCP 9400 SE是一款由Laser Applications and Materials（LAM）制造的最先進的蝕刻/asher設備。它是一種完全自動化的機器，非常適合各種應用，如蝕刻和灰化。LAM TCP 9400SE是一種具有柔性腔室設計的熱氣相沈積系統，可以重新配置以適應不同的材料和晶圓尺寸。TCP 9400 SE具有8英寸/200毫米直徑的腔室。真空單元將腔室加壓至10-9 Torr，以確保一致的高質量工藝。該機使用了具有500個程序存儲容量的高級數字軟件包。TCP 9400SE提供高達450°C的溫度範圍,以滿足各種蝕刻和灰化工藝的要求。該裝置有一個獨特的多區熱破壞工具，具有真空施加的玻璃罩，允許用戶定制熱制度。該資產支持各種蝕刻過程，如各向同性、各向異性和定向蝕刻。LAM TCP 9400 SE還提供多種灰化工藝，包括水槽和袋式燒結，以優化材料質量。軟件界面允許對蝕刻和灰化過程進行簡單的編程和監控。LAM TCP 9400SE還采用了復雜的雙氣體控制模型,可以精確控制蝕刻和灰化過程。該設備配備了自動關閉功能，以防止汙染，以及一個自我診斷系統，以從單位錯誤中快速恢復。此外,TCP 9400 SE的設計考慮了安全性,並通過了最高安全標準的認證。總體而言,TCP 9400SE是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻和灰化機,能夠滿足各種蝕刻和灰化需求。該工具易於配置,並提供強大的硬件和軟件功能,以確保一致性和可靠性。LAM TCP 9400 SE是用於研究和生產應用的可靠且經濟高效的解決方案。