二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758954 待售

LAM TCP 9400 SE是一種高級蝕刻器/asher設備,專門設計用於提供可靠、精確的蝕刻和灰化工藝。該系統采用高功率、數控、直接等離子體濺射離子源，對氧化鋁、石英、矽和玻璃等基板進行高效、精確的蝕刻和灰化。雙模TCP（傳輸控制協議）提供精確的蝕刻和灰化,具有高度的可重復性和準確性。TCP能夠利用低功耗、短點火周期以及高功率、長點火周期,以最大的效率和控制來確保最大吞吐量。該裝置還采用先進的灰化工藝，以確保完整的基板灰化和最小的汙染。與其他系統相比，它采用雙模源控制的快速高溫ashing工藝允許在更短的時間內完成全局基板ashing。LAM TCP 9400SE裝有體積1.25立方米的大型Ashing Chamber，可達1700 °C的溫度。另外，灰化過程由使用者精確控制，可以與廣泛的底物，以及純氧與N2之間不同的大氣組成物一起工作。該機器采用直觀的彩色觸摸屏,便於設置和監視蝕刻和灰化過程。觸摸屏受化學和耐磨表面保護，蝕刻和灰化軟件非常直觀，使工具的操作簡單明了。TCP 9400 SE是一種高效、精確的蝕刻器/asher資產。它將高功率、數控、直接等離子體濺射離子源與先進的ashing工藝結合在一起，提供精確的蝕刻和ashing，具有高度的重復性和準確性。直觀的彩色觸摸屏和易於使用的軟件使模型的設置和操作變得容易，化學和耐磨的觸摸屏表面保證了耐用性和壽命。TCP 9400SE是需要先進可靠的蝕刻器/灰燼設備的用戶的理想選擇。