二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758955 待售
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LAM TCP 9400 SE是一種為半導體加工而設計的蝕刻/asher裝置。它具有耐化學不銹鋼塗層,具有極其幹凈、耐刮擦的性能。LAM TCP 9400SE配備了多個靜電屏蔽層,包括一個專利設計,顯著降低交叉汙染風險。該蝕刻器采用高性能的9400W等離子源,具有廣泛的參數調整,以根據應用量身定制蝕刻。此外,TCP 9400 SE還包括一個自動控制面板和功能強大的工藝幾何軟件,可對蝕刻和氣流進行詳細控制。TCP 9400SE具有自動壓力控制、高壓超聲清洗、延長維護間隔、動態溫度控制等幾個功能和安全功能。它還具有ESD安全絕緣結構,防止弧線翻轉,並為操作員創造一個安全的工作環境。機載冷卻設備即使在重型使用情況下也能保持設備冷卻並延長其耐用性。LAM TCP 9400 SE具有集成的電平和雲室,帶有數字取景器和照明系統以及視頻端口。它還集成了廣泛的後處理和安全功能,如集成氣體監測和滅火裝置。蝕刻器/灰化器與多種氣體兼容,包括六氟化硫和氯,可用於廣泛的精密蝕刻和氣體擴散應用。設備的CNC控制機確保準確和可重復的結果,無論工作的復雜性。板載軟件可通過Windows和Linux操作工具訪問,並具有帶觸摸屏的全面用戶界面。LAM TCP 9400SE還提供了一個數據傳輸端口,使設備能夠直接連接到PC。蝕刻器/asher可用於多種材料,包括鋁、鈷和矽片。該設備能夠進行深度劃痕、陣列化和高蝕刻速率優化,使TCP 9400 SE成為各種微加工應用的理想解決方案。
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