二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293764327 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款專門設計用於在電子和半導體制造業中進行幹蝕刻或濕蝕刻工藝的蝕刻器/asher。它經過精心設計，能夠提供出色的幾何形狀和精確的深度控制，允許精確的蝕刻圖案控制。ONTRAK TCP 9400 SE是一種四室蝕刻/灰燼設備，采用兩級幹蝕刻工藝，以更高的精度和更低的成本蝕刻圖樣。第一階段是低壓儲層蝕刻，而第二階段則利用等離子體氣體和微波蝕刻到基質中，產生精細、高長寬比的蝕刻。該蝕刻系統能夠在不同的基材材料如電介質和金屬中進行蝕刻，使其成為一種通用的蝕刻工具。LAM RESEARCH TCP 9400 SE配備了先進的精細音調計量學、多分區能力和多個室內工藝配方。計量單元提供了一種測量蝕刻深度和叠加精度的高度精確可靠的方法。多區功能為大容量應用程序提供了更高的吞吐量,而對室內食譜進行編程則允許定制蝕刻食譜。蝕刻機由集成的基本工藝櫃管理和控制，使用戶可以輕松設置、監控和調整他們的工藝配方。它還與ONTRAK TSCX軟件等前沿軟件兼容，使得處理數據、實時監控工具性能和導出結果變得容易。此外，它還可以很容易地與一些第三方計量系統相連接。TCP 9400 SE是適用於小型到大型生產運行的理想蝕刻解決方案,旨在實現最低限度的維護-其可更換的組件、快速的提升時間和相對較小的占用空間使其成為清潔環境的理想選擇。它與OPC-200潔凈室氣體和晶圓處理系統完全兼容，確保環境條件和工藝可靠性的一致性。總體而言,LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是先進的蝕刻/灰燼資產,非常適合各種電子和半導體制造應用。利用其兩階段幹蝕刻工藝和集成的精細螺距計量法,該模型能夠在最小的停機時間內實現精密蝕刻,使其成為中大批量生產運行的最佳解決方案。