二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293767403 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先進的蝕刻/灰化設備，設計用於半導體器件制造環境。它擁有一個完全自動化、自給自足的平臺，能夠處理各種各樣的基材，如矽、氮化物和各種金屬。該系統可根據需要定制以處理其他材料。該蝕刻器/asher單元設計有一個可旋轉的基板支架，它提供了處理基板的能力，在尺寸達到6.5英寸。這樣可以有效地處理和蝕刻基板，同時保持準確和可重復的結果。此外，可旋轉基板支架提供了靈活性，以適應各種蝕刻形狀和大小，以及先進的蝕刻參數。為了確保最佳蝕刻效果,ONTRAK TCP 9400 SE采用了先進的工藝控制技術。這包括工藝參數監控和自動工藝優化，確保產生最高質量的蝕刻。它還具有防止設備損壞的火花檢測機，以及車載視頻顯示和控制。此蝕刻器/蝕刻器還提供最大的工藝靈活性,提供手動和自動蝕刻速率以及可編程蝕刻序列。此外，工藝氣體流量和溫度可以調整，以適應個別蝕刻作業的要求。使用包括多個子庫的多頭氣體輸送工具控制過程氣體。這提供了精確控制所有工藝氣體的速率、成分和分布的能力。LAM RESEARCH TCP 9400 SE 蝕刻器/asher還包括一個集成的升降臺。這為基材和受汙染的廢料提供了方便的裝卸。此外,集成式安全平臺還具有多種安全功能,可確保操作過程中的安全。這包括自動關閉資產,它將在模型故障或電源故障時關閉蝕刻器/asher。總體而言,TCP 9400 SE是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供質量最高的基板,並具有可重復和經濟高效的結果。其先進的工藝控制技術、靈活的工藝參數和全面的安全特性使其成為半導體器件制造行業的理想解決方案。