二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813740 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一種蝕刻器，又稱asher，用於半導體制造。ONTRAK TCP 9400 SE，代表「半導體蝕刻的精細平臺」，設計用於商業蝕刻生產和研究。它是一個高吞吐量的全自動設備，有四個獨立的蝕刻器和11個獨立的工藝室。該系統能夠一次蝕刻和剝離多達四個晶片，可以同時進行數百次實驗。該單元的核心是一個高效的薄膜蝕刻器，可以以每秒3.2Å的最大速率蝕刻矽和介電材料。機器一次處理多層的能力可以顯著減少總蝕刻時間。這使得LAM RESEARCH TCP 9400 SE非常適合流程受到嚴格限制或性能至關重要的應用程序。機器還可以執行光刻帶、蝕刻停止、抗剝離、砷摻雜等過程。其蝕刻彈出組件（EEA）旨在確保晶片表面在蝕刻過程後不受汙染。歐洲經濟區還有助於盡量減少汙染的可能性，減少蝕刻深度變化。TCP 9400 SE配備了高度可靠的600mm x 400mm石英管，能夠保持高通量，確保晶圓質量一致。它的13條MFC工藝管線提供了對壓力、溫度和氣流的精確控制。氣體流量可以從0-50 spm不等，有助於減少化學消耗，更好地管理過程。蝕刻器還具有直觀、用戶友好的界面,可實現高效、自動化的數據流。它還配備了一套高級診斷功能,如過程監控和泄漏檢測,可提供卓越的過程控制。此外,LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE的設計符合行業安全標準,為人員和設備提供高度保護。它還由專家工程師團隊提供支持,他們可以在需要時提供幫助和故障排除。總而言之，ONTRAK TCP 9400 SE是一款高效可靠的薄膜蝕刻器，是商業蝕刻的理想選擇。其精密的工程設計和直觀的用戶界面可實現高效、高通量的生產,而其耐用性和高級診斷功能可確保提供一致的晶圓質量。