二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293592159 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種創新的蝕刻器和asher設備,它在單個工具中提供清潔和沈積功能。這個系統的設計使各種基材的加工能夠高度精確，包括矽片、玻璃、石英等。TCP 9400配備了掃描儀,能夠將各種加工化學品和材料精確地放置在基板上,從而確保了最高質量的蝕刻和沈積操作。該掃描頭具有線性和徑向掃描運動，使蝕刻和沈積過程能夠以極高的精度和速度完成。LAM RESEARCH TCP 9400有一個集成的控制站，可以從計算機工作站或單元控制臺訪問。該工作站提供了一個全面的用戶界面，用於設置和監視機器，以及與其他系統的通信。該工具具有多種安全功能，如氣體關閉、緊急出口和緊急停車。TCP 9400配備了先進的等離子體蝕刻資產，能夠輕松、精確地蝕刻各種基板。該型號融合了蝕刻和灰化的最新技術，如高速氧等離子體蝕刻、高速氮等離子體蝕刻等。該蝕刻器可用於各種操作，如氧化物去除、反摻雜、深矽蝕刻、角圓和凹槽定義，以及其他工藝。LAM RESEARCH TCP 9400還具有多室asher工藝,專門設計用於優化沈積和灰化工藝。這是通過使用可互換的化學源，以及多縮放能力來實現的。最後,TCP 9400配備了先進的安全功能,即自動安全和監控設備（ASAM）。此功能掃描設備,持續監視過程參數,並在過程中出現任何不安全的情況時向用戶發出警報。LAM RESEARCH TCP 9400是一種最先進的蝕刻和灰化器,可快速準確地處理基材。該系統配備了精確控制沈積過程的掃描頭、先進的等離子體蝕刻器和多室asher單元。此外，該機具有多種安全特性，確保過程以安全高效的方式運行。