二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293608569 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是使用反應物氣體在表面蝕刻或粉刷特征的蝕刻器/粉碎器。該蝕刻/灰化過程在熱化學氣相沈積室中進行。TCP 9400是一款可靠而健壯的蝕刻器,可幫助創建周期非常短的高質量功能。LAM RESEARCH TCP 9400旨在提供高吞吐量、過程均勻性和精度的組合。TCP 9400具有獨特的腔室設計,可在整個工作區域實現高度統一的工藝條件。反應堆還可以處理包括氯氣、三氟化硼和三氟化氮在內的多種工藝氣體。LAM RESEARCH TCP 9400配備了氣體流量控制器，能夠精確控制過程中的氣體流量。此外，可以調整腔室的內部壓力，以優化蝕刻/灰化率。TCP 9400是一款易於使用、經濟實惠的設備,可提供卓越的蝕刻/灰度精度和可重復性。它還具有適合各種工件的延伸工作距離。該系統具有集成的真空認證，意味著單個蝕刻既可用於預蝕刻，也可用於後蝕刻。此外，它還具有水冷等離子體源，具有良好的溫度控制和工藝穩定性。這樣可以提高更復雜結構的精度、速度和準確性。LAM RESEARCH TCP 9400配備了強大的表面分析工具，可以提供有關蝕刻性能的實時反饋。該工具使用光發射光譜（OES）來測量材料的蝕刻深度和輪廓。它還提供對過程參數（如溫度、壓力和流率）的監控訪問。TCP 9400還配備了集成數據采集單元,可用於記錄和歸檔流程數據。最後,LAM RESEARCH TCP 9400是一種高效可靠的蝕刻器/灰化器,具有獨特的腔室設計和集成過程分析工具。它提供了出色的蝕刻和灰化性能，更快的周期時間和卓越的精度。其出色的控制機器能夠對過程參數和數據采集進行精確調整。