二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293752333 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種全自動、高度精確的蝕刻和粉刷設備,專為基板清潔和預金屬化過程而設計。這個自動化系統為各種基板提供高質量的工藝，包括矽、玻璃和石英。它非常適合整體蝕刻回處理，為金屬沈積提供了理想的平臺。TCP 9400提供了許多功能,使其能夠高效地進行基板蝕刻。它有一個全自動晶圓載體，利用機器人手臂將底物移入和移出堿性清潔工藝模塊，而內置控制器則監視和控制整個工藝。機組的可編程壓力控制自動調節反應室內的壓力，使底物均勻一致拋光。此外,LAM RESEARCH TCP 9400運行完全閉合循環,所有惰性部件都被回收並再循環回蝕刻過程中,以防止浪費。TCP 9400使用兩種蝕刻解決方案,以確保整個晶片表面的蝕刻速率一致。每種溶液都包含不同的攝制器，用於特定的濕法化學蝕刻和化學機械拋光工藝。這確保了基板表面的最佳潤濕和起始材料的均勻蝕刻，提供了一致的表面光潔度。此外，它還有一個精密的溫度控制機，精密的過程控制微米級精度。該工具還具有用於監控蝕刻過程的內置光學計量資產。它使操作員能夠實時觀察和監測蝕刻過程的進展以及基板的表面輪廓。蝕刻過程也通過在線流程數據庫進行監視和記錄,以便用戶可以查看流程趨勢並收到任何更改的警報。LAM RESEARCH TCP 9400是一種可靠的自動蝕刻和灰化器模型,提供詳細的工藝控制、準確的蝕刻速率以及高性能的基板清潔和金屬沈積。它兼具特性和性能，是各種基材蝕刻應用的理想選擇。