二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293758208 待售
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LAM RESEARCH TCP 9400是一款旨在提供高級蝕刻和灰化性能的蝕刻器/灰化器。這種創新設備非常適合於生產量、高制造吞吐量應用,如平板顯示器（FPD）工藝步驟、3D沈積/蝕刻、光刻和MEMS設備制造。TCP 9400自推出以來,由於其靈活性、容量和強大的功能,已成為非常受歡迎的蝕刻器/蝕刻器。LAM RESEARCH TCP 9400是一個精密模式傳遞、精密氣體分布和寬廣工藝窗口的集成雙室系統。采用專利的先進循環均衡氣（AEG）進氣技術，在機組內部產生均勻的氣體分布。這種精確度在生產具有小線/空間（L/S）模式的高密度FPD應用程序時創造了最佳蝕刻性能。機器寬廣的加工窗口可實現低溫/高溫蝕刻和非常精確的蝕刻速率/輪廓性能。TCP 9400提供高吞吐量性能,最多可容納50個晶圓/周期。它還提供99個單元的高容量盒式磁帶處理,這有助於進一步提高吞吐量。它的高溫和直接驅動機制使得晶圓在腔室之間的傳輸速度更快，這意味著更高的生產率。LAM RESEARCH TCP 9400是高度可配置的,允許客戶根據自己的特定需求定制系統。它包括熱晶片處理、腔室優化和源材料自動交換等多種自動冷熱負載對腔室循環管理選項。它還包括一系列前端配置，如批量裝載機、熱交換器、高溫/低溫源材料發送器、晶圓處理機器人控制和晶圓映射軟件。該工具還配備了用戶友好的飼料可選氣體控制器，使操作員能夠在無需編程的情況下快速選擇所需的工藝氣體。氣體控制器還兼容多種氣體，這意味著操作員可以在不同的過程中輕松切換到不同的氣體。總體而言,TCP 9400是一種高級蝕刻器/asher集成資產,專為高容量精度而設計。其優越的氣流技術、快速的周轉時間和靈活性為用戶提供了一個高度可靠和高效的解決方案。
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