二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293805105 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種高精度的蝕刻器/asher，用於半導體工業中多種不同的應用。TCP 9400是圍繞LAM RESEARCH專利DuraSketch™技術構建的,它為蝕刻、灰化和其他關鍵技術提供了高度精確和可重復的結果。蝕刻器/asher利用高度先進的等離子體工藝提供快速、幹凈和均勻的蝕刻工藝，從而產生優越的晶圓質量。LAM RESEARCH TCP 9400采用了高度創新的真空負載鎖定和基板傳輸設備，使操作員可以在一個周期內輕松傳輸多達8個晶片。該系統的設計還允許晶片的精確和受控的垂直運動，從而確保蝕刻過程是高度可重復的，沒有過程變化。這樣可以提高最終產品的產量和均勻性。該機組還配備了精確的數字射頻發電機，具有精確的頻率和功率控制。這允許用戶撥入飽和響應時間和蝕刻速率，以及精確設置蝕刻深度。工藝參數的精確控制使其非常適合用於任何精密蝕刻工藝。該機還具有大量的源氣體選擇，允許各種蝕刻應用。它還具有自動氣體交換功能,可實現完整的過程自動化。該工具還為蝕刻過程中的精確熱控制提供了精確的加熱區域。TCP 9400是最苛刻的蝕刻和灰化應用的完美工具。其精密的工藝參數、自動化的氣體轉換、廣泛的氣體選擇，使其成為高產量、高質量生產工藝的理想工具。其直觀的控制、真空傳輸資產和數字射頻發生器也使其成為精密蝕刻工藝的理想選擇。