二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款最先進的蝕刻器/灰化器，旨在滿足半導體和先進包裝行業對高精度蝕刻和灰化的需求。該設備能夠提供具有卓越性能的高速、均勻、可靠的流程。TCP 9400配備了一個完全自動化的集成氣體輸送平臺,能夠同時輸送多達11個氣體輸送點。它還具有一個高效的機器人界面，最多可有三個熱機器人，最多可操縱40個晶圓進行手動加載和快速周轉時間。該設備包括一個帶變頻驅動器的真空泵封裝和一個特殊的加工室，設計用於最大限度地減少排氣和盡量減少設備與基板之間的傳熱。LAM RESEARCH TCP 9400能夠為高長寬比提供氧化物、氮化物和其他蝕刻等可重復的工藝，在多個晶圓尺寸上具有高度的準確性和均勻性。TCP 9400的高吞吐量和精細的工藝控制縮短了周期時間,提高了產量。LAM RESEARCH TCP 9400還配備了強大的工藝監控系統，監控整個蝕刻/灰化工藝。其操作過程控制參數，包括氣體流量、壓力、溫度、功率都可以編程到過程控制軟件中。這樣可以對過程進行最佳的管理,確保一次又一次地對通孔、直線孔和接觸孔進行完美的蝕刻/灰化。總之,TCP 9400是半導體和先進封裝行業的理想解決方案,因為它提供了快速、可靠和可重復的工藝,可在多個晶圓尺寸上提供卓越的一致性。其強大的流程監控系統和自動化氣體輸送平臺確保每一項工作完美無瑕地完成,為客戶提供更高的生產率和滿意度。