二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一個為生產半導體器件而設計的蝕刻/asher單元。它是一種高度自動化的設備,能夠在單個操作中執行串聯燒蝕和/或蝕刻過程。該系統非常適合中大批量生產設備。該裝置具有深層反應性離子蝕刻（DRIE）腔室和氣動驅動的蓋子打開/關閉機構。該腔室的設計使基板的加工具有高度的精確度和精確度。該腔室有一個集成的熱交換器和一個額外的壓力控制模塊，用於精確的過程控制。這臺機器還配備了一個單片轉移機器人，用於從工具上裝卸基板。這款機器人提供了高度的工藝靈活性，並配備了可靠高效的基板處理視覺工具。機器人還配備了動力模塊，使其能夠提供優越的基板保護和減少循環時間。控制器單元提供運行資產所需的控制和自動化功能。這包括操作參數、配方管理、數據記錄以及與主機的連接。控制器單元包括監控和分析過程結果以及存儲未來可重復性配方的功能。最後，該模型還設計了一個可容納多達8個晶圓的負載鎖定室，用於預蝕刻和後蝕刻過程。這個腔室包括一個用於疏散的真空泵和一個用於註入腔室大氣的氧氣註入口。所有這些組件協同工作，以一致和可靠的方式產生質量、可重復的結果。通過使用TCP 9400 蝕刻器/asher設備,設備制造商可以及時且經濟高效地生產滿足其規格要求的半導體器件。