二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是為晶圓處理應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種高速、高分辨率的蝕刻和灰化設備，能夠處理直徑不超過8英寸的基板。該系統旨在產生極其精確的陣列,並具有一致的結果,可以一致地復制到生產規模應用程序中。它具有高質量的雙軸龍門機器人支撐單元,可精確控制整個加工室的運動,還包括一個熱成像傳感器,用於在加工過程中查看基板的熱輪廓。龍門確保基板能夠快速準確地被帶到所需的加工位置。強大的質量流控制器提供精確的氣流管理與一系列的化合物，並要求最低限度的用戶幹預。高級過程控制軟件允許內存中存在多個配方,每個配方最多有10個工作站。該機采用四分之四的鎖載室配置，允許最多四個晶片一次裝卸。TCP 9400設計用於處理復雜的模式和密集的結構等離子體和化學蝕刻。它可以提供化學和等離子體過程之間的即時切換，允許低循環時間生產。等離子體動力系統可產生高達200瓦的功率，從而能夠精確管理蝕刻速率和均勻的特性。此外,LAM RESEARCH TCP 9400還配備了先進的自動晶圓檢測快速成像機.這個工具能夠用亞微米分辨率測量最小的特征，並且能夠在幾分鐘內成像整個晶片。該機具備嵌入式安全功能，能夠監控氣體和壓力管理，提供更高水平的安全。TCP 9400是一款高性能的蝕刻器/asher,可為大容量晶圓處理應用程序提供顯著優勢。其先進的控制資產、雙軸龍門機器人支持模型和多用途的工藝能力使其成為產生精確、一致結果的理想選擇。