二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9131590 待售
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已售出
ID: 9131590
晶圓大小: 4"-8"
Poly/Nitride etcher, 8"
System configuration
Wafer transfer
Cassette to cassette
Chamber
1 Process Ch, 2 loadlock ch
Fixed gap electrode( 11.6cm)
1.25KW and 13.56㎒ RF power supply (Process Chamber Upper/Lower)
(RF generator Model : RFG 1250)
Automatic match system
3-Turn TCP coil
Electrode temperature unit interface
Photodiode optical endpoint detector
Electrostatic chuck (Process Chamber)
Bottom redial gas injection
Back HE cooling
1 Turbo pump(Seiko Seiki 2203)
Viton /Fsilicon O-Ring
Orbitally welded gas box
(3) Color Tower Lamps
System controller
Envision –E1.5.1 / LCD moniter
Pressure control
Automatic pressure control(VAT65)
Temperature control system
Single chiller(M&W) temp control range:-20℃~+80℃).
LAM RESEARCH TCP 9400是一種蝕刻器和asher設備,專為高通量過程控制和蝕刻而設計,具有最大的工藝靈活性。它配備了可變電源、數字x-y-z運動控制以及通用工藝室（UPC）模塊。該系統采用SmartScan技術,可在不漂移的情況下進行精確蝕刻,從而實現快速準確的蝕刻深度和精加工。TCP 9400適用於蝕刻鋁、鋁合金、電線、不銹鋼，以及其他導電材料。它還具有恒定掃描技術（CST），以提高過程的重復性和準確性。該裝置具有精密蝕刻各種材料的能力，具有優良的工藝控制。LAM RESEARCH TCP 9400有一整套可用於控制蝕刻參數的設置。這些設置允許微調蝕刻過程以獲得最大的屈服效率。此外,還可以根據需要輕松更改設置,以滿足蝕刻作業要求。該單元還配備了功能強大的加熱機，可實現手動和自動控制。這使得用戶能夠精確加熱工藝室和基板，以獲得最佳的蝕刻結果。此外,蝕刻工具還利用風扇冷卻技術提高了蝕刻性能。該蝕刻資產有一個封閉的工藝室，以提高蝕刻效果和安全性。9400 c還配備了增強的過程控制監控功能以及允許改進對蝕刻過程的控制的軟件包。該軟件還允許簡單的圖形用戶界面數據輸入和過程控制。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400c是一種高度通用、靈活的蝕刻和asher模型。它為過程控制提供了全方位的設置,方便的圖形用戶界面數據輸入,以及恒定掃描技術（CST）,以實現最大的重復性和準確性。該設備非常適合多種蝕刻應用，適用於蝕刻鋁、鋁合金、電線和不銹鋼。
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