二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9171323 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種等離子體增強的蝕刻器/asher，用於制造業的多種工藝。這種多功能工具可以蝕刻和沈積銅、鎢和鋁等多種材料，以及加工專用半導體材料。該工具可用於蝕刻和灰化兩種不同的加工工藝.TCP 9400配備了一個大的等離子體腔室，使其易於與多種底物一起工作。該腔室設計用於氣體的最佳電離和準確設置壓力、流量和溫度水平的能力。各種冷卻方法，從氮氣和氦氣，到排氣流量和主動冷卻，都可以保證最佳效果。該機具有直觀的圖形用戶界面（GUI），簡單易用。另外還有一些安全措施，以確保安全的操作環境。LAM RESEARCH TCP 9400配備了超壓保護設備和晶圓傳感系統的末端，兩者都有助於防止粒子逃離腔室。該室還設有一個網絡監測單元和審計跟蹤，可用於訪問數據日誌並確保最佳性能。除了蝕刻和灰化材料外，TCP 9400還可以用於其他工藝如層上沈積、退火和多晶矽沈積。機器還有多種配置腔內壓力、流量和其他參數的選項。該室還配備了先進的晶圓處理機，確保了晶圓的準確和可重復傳輸。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款用途廣泛且可靠的蝕刻器/asher,專為各種應用程序的高精度和高性能而設計。該機具有人性化的GUI、先進的安全和數據記錄以及多種材料處理功能。TCP 9400具有多種功能,是許多半導體器件制造工藝的理想解決方案。