二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180718 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種蝕刻/asher設備，用於面板和IC級平板處理。該系統能夠提供超高分辨率蝕刻，使用戶能夠產生復雜的圖樣設計，只能通過使用高能束來實現。該裝置配備了最先進的燒蝕室，能夠產生波長從多納米到100微米的高能光束。TCP 9400旨在提供低成本、高精度的處理功能。該機器采用兩級燒蝕工藝，其中第一級涉及加熱基板以產生引起所需的基板蝕刻或灰化的等離子束。第一階段是LAM RESEARCH TCP 9400的獨特特點最明顯的地方。燒蝕過程的第二階段涉及冷卻基板以產生超高分辨率蝕刻。這個過程涉及使用自上而下的脈沖激光器，將短爆發的高能光束傳遞到基板。這樣就得到了幹凈、精確的光潔度。該工具還能夠控制高達750納米的蝕刻深度。最後，TCP 9400還能夠進行廣泛的塗層操作。這包括提供廣泛的處理，如旋轉塗層，噴塗塗層和後蝕刻塗層操作。這些過程用於提高圖樣分辨率和均勻性，同時提供堅固的耐腐蝕性。綜上所述，LAM RESEARCH TCP 9400是為面板和IC級平板處理設計的高精度蝕刻器/asher資產。它配有燒蝕室，能夠產生多波長的高能光束，產生超高分辨率蝕刻。此外，它還提供了許多塗層工藝，以進一步提高圖樣分辨率和均勻性，並具有堅固的腐蝕保護。