二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是為半導體制造中的FEOL（前端線）工藝而設計的高性能蝕刻和asher工具。其先進的多頻諧振技術能夠同時進行反應性離子蝕刻和氧化，實現高容量生產力。TCP 9400具有大的加工室，基板面積較大。這樣可以確保均勻的基板載荷,提供高的生產率和吞吐量.腔室還利用靜電捏電壓技術，提供了一個統一一致的蝕刻工藝。擠壓還有助於最小化可變性,從而改進分析。該工具還具有低頻功率變頻功能，有助於降低邊緣和角落過度蝕刻的風險。這提高了工藝精度並提高了產量。LAM RESEARCH TCP 9400提供了保證均勻蝕刻和氧化的均勻源分布。它還利用偏置來提高蝕刻選擇性，並快速去除基板上的圖樣特征。該工具先進的控制技術允許用戶像射頻電源和定時那樣精確監控和調整條件。這有助於用戶優化蝕刻條件，使工藝適應基材或特征尺寸。TCP 9400還包括快速循環時間。這允許高吞吐量的生產。此外,該工具還具有內置診斷功能,能夠快速檢測和恢復故障。這使得它適合生產環境。它的高級軟件功能還允許簡化流程優化、數據記錄和配方編輯。LAM RESEARCH TCP 9400是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻器和asher工具,旨在滿足FEOL市場的需求。它的高級功能提供了出色的處理能力和吞吐量,同時允許更好的過程控制和優化。