二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226361 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款先進的多功能機電蝕刻器和asher設備。這一項技術是專門設計的，用於對半導體、集成電路、微電子元件等基板上的特征進行精確蝕刻。TCP 9400能夠以非凡的速度和精度級別對材料層進行Ashing、清潔和蝕刻。LAM RESEARCH設計了該系統和智能控制技術,使其能夠在低溫（<430C）下達到5 nm厚度控制精度。這個蝕刻器/asher使用了一個緊湊的燒蝕晶片加工室，帶有一個空間上可配置的氣體矩陣，使各種各樣的工藝配方和技術節點得以實現。它還具有先進的可調脈寬調制控制器，用於精確控制晶圓過程的能量輸入。這使其能夠在操作過程中獲得穩定的工藝結果，並快速進行反應性離子蝕刻、化學氣相沈積、偏置等工藝。LAM RESEARCH TCP 9400裝有一個既有溫度又有自調節的石墨熱板，以提供基板的均勻加熱。然後定期監控此溫度,並根據配方和工藝類型為客戶定制溫度範圍。為了提高精度和安全性,此蝕刻工具具有一個對峙檢測器,可連續檢查目標與晶片卡盤之間的適當距離。它還有一個先進的安全單元，包括可以檢測過程故障的聯鎖；熱板、真空泵、供氣管線等部件；以及火焰離子探測器，用於監測蝕刻過程中排放的Radwaste氣體。在性能方面,TCP 9400能夠處理直徑不超過6英寸的大型基板,並具有允許同步加載和卸載晶片的高通量流量機器。它自動跟蹤室室的溫度、壓力和氣體流量等指標，以確保整個運行過程穩定。LAM RESEARCH TCP 9400是一種有效的蝕刻和asher工具，有利於蝕刻集成電路、薄膜金屬化、復合半導體材料、Pyrex玻璃、低k介電層等工藝。它具有精確的厚度控制精度和精確的溫度控制能力，特別適合於半導體器件的制造。